-
日本大冢電子SF-3晶圓膜厚儀的技術(shù)解析
發(fā)布時間： 2025-07-14 點擊次數(shù)： 77次日本大冢電子(Otsuka)生產(chǎn)的SF-3小型晶圓膜厚儀是一種專為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域設(shè)計的精密測量設(shè)備。該設(shè)備采用分光干涉法實現(xiàn)高精度的膜厚測量，具有非接觸式、非破壞性的特點，適用于硅晶圓、玻璃等基材的厚度測量。SF-3膜厚儀的測量范圍廣泛，從0.1 μm到1600 μm，能夠滿足不同厚度測量需求。其測量精度高，重復(fù)精度達到0.001%以下，測量時間僅需10毫秒，展現(xiàn)了測量效率和準(zhǔn)確性。
SF-3膜厚儀的設(shè)計緊湊，體積小，安裝簡便，非常適合集成到生產(chǎn)線中。它能夠?qū)崿F(xiàn)長距離工作(Working Distance)，從3 mm到200 mm，使得在不同生產(chǎn)環(huán)境中的安裝和使用更加靈活。此外，該設(shè)備還支持多層厚度測量，即使在短暫貼合的情況下也能準(zhǔn)確測量各層厚度，這對于3D IC堆疊等先進封裝技術(shù)尤為重要。
SF-3膜厚儀還具備高速測量能力，最快可達5kHz，能夠?qū)崟r監(jiān)控研磨厚度，這對于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。設(shè)備通過LAN接口實現(xiàn)遠程控制，方便與Host系統(tǒng)連接，實現(xiàn)自動化生產(chǎn)流程。
總的來說，SF-3小型晶圓膜厚儀以其高精度、高效率和靈活性，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，是實現(xiàn)精確膜厚控制的理想選擇。
產(chǎn)品中心
Products
-
農(nóng)用機械
-
質(zhì)構(gòu)儀
-
糖度計
-
測試儀
-
氣泵
-
成分分析儀
-
分析儀器
-
試驗機
-
檢查燈
-
研磨介質(zhì)球
-
光學(xué)儀器
-
檢驗儀
-
鑒別儀
-
濃度計
-
涂布機
-
超聲波均質(zhì)機
-
傳感器
-
壓力表
-
位儀計
-
露點儀
-
數(shù)字水平儀
-
水分計
-
溫度計
-
厚度計
-
光度計
-
焊接機
-
切割機
-
應(yīng)力儀
-
水平儀
-
均質(zhì)機
-
診斷儀
-
控制器
-
馬達
-
去除機
-
零件進料器
-
研磨計
-
真空計
-
球閥
-
點膠機
-
粘度計
-
過濾器
-
照度計
-
點焊機
-
混合機
-
伊原電子密度計
-
塑料粒子色選機
-
臭氧儀
-
質(zhì)量計
-
錘磨機
-
密度計
-
張力計
-
監(jiān)測儀
-
比色計
-
電導(dǎo)率儀
-
冷卻器
-
離子計
-
粉碎設(shè)備
-
耗材/配件
-
傳熱設(shè)備
-
測量/計量儀器
-
大米樣品保存箱
-
研究用小型色選機
-
光源
-
陶瓷材料
-
水質(zhì)檢測設(shè)備
-
物性檢測設(shè)備
-
氣體檢測儀
-
茶葉生產(chǎn)線
-
日本進口
-
行業(yè)專用儀器
-
電氣設(shè)備
-
加熱裝置
-
水產(chǎn)設(shè)備
