-
日本Tem-Tech半導體CMP漿料用壓力傳感器SE3000：高精度耐腐蝕
發布時間： 2025-07-31 點擊次數： 121次在半導體制造過程中，化學機械拋光（CMP）工藝對壓力控制的精度和可靠性有著要求。日本Tem-Tech的SE3000壓力傳感器憑借其高精度、耐腐蝕的特性，成為CMP漿料壓力監測的理想選擇。高精度測量
SE3000壓力傳感器具備高精度的測量能力，其綜合精度可達±1%FS（滿量程），能夠確保在CMP工藝中對漿料壓力的精確控制。這種高精度測量對于保證晶圓表面的平整度和拋光質量至關重要。耐腐蝕設計
該傳感器采用PFA（全氟烷氧基）一體成型的氣球結構，接觸液部分未使用金屬或O形圈，因此非常適合強酸和強堿等腐蝕性流體的測量。這種設計不僅解決了傳統氣球結構可能導致的污染和離子問題，還提高了傳感器在惡劣化學環境中的使用壽命。廣泛的測量范圍與靈活的輸出選項
SE3000支持多種測量范圍，包括-0.1至1MPa，能夠滿足不同CMP工藝的壓力監測需求。此外，該傳感器還提供多種輸出信號選項，如4～20mADC（2線式）、0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC（3線式），方便與各種控制系統集成。可靠性與維護
SE3000具備堅固的雙層隔膜設計，能夠承受高達1MPa的壓力。同時，傳感器配備了泄漏指示器，可及時通知用戶更換時間，確保設備的可靠運行。應用場景
SE3000廣泛應用于半導體制造中的CMP工藝，用于監測漿料的壓力，確保拋光過程的穩定性和一致性。其耐腐蝕特性和高精度測量能力使其成為半導體制造中的監測設備。總結
日本Tem-Tech的SE3000壓力傳感器以其高精度、耐腐蝕的特性，為半導體CMP工藝提供了可靠的解決方案。無論是應對強酸強堿的化學環境，還是實現精確的壓力控制，SE3000都能滿足用戶對高質量半導體制造的需求。
產品中心
Products
-
農用機械
-
質構儀
-
糖度計
-
測試儀
-
氣泵
-
成分分析儀
-
分析儀器
-
試驗機
-
檢查燈
-
研磨介質球
-
光學儀器
-
檢驗儀
-
鑒別儀
-
濃度計
-
涂布機
-
超聲波均質機
-
傳感器
-
壓力表
-
位儀計
-
露點儀
-
數字水平儀
-
水分計
-
溫度計
-
厚度計
-
光度計
-
焊接機
-
切割機
-
應力儀
-
水平儀
-
均質機
-
診斷儀
-
控制器
-
馬達
-
去除機
-
零件進料器
-
研磨計
-
真空計
-
球閥
-
點膠機
-
粘度計
-
過濾器
-
照度計
-
點焊機
-
混合機
-
伊原電子密度計
-
塑料粒子色選機
-
臭氧儀
-
質量計
-
錘磨機
-
密度計
-
張力計
-
監測儀
-
比色計
-
電導率儀
-
冷卻器
-
離子計
-
粉碎設備
-
耗材/配件
-
傳熱設備
-
測量/計量儀器
-
大米樣品保存箱
-
研究用小型色選機
-
光源
-
陶瓷材料
-
水質檢測設備
-
物性檢測設備
-
氣體檢測儀
-
茶葉生產線
-
日本進口
-
行業專用儀器
-
電氣設備
-
加熱裝置
-
水產設備
