-
Techvision UVC-200/300：365nm水冷UV-LED晶圓固化系統的低溫固化技術突破
發布時間： 2026-02-06 點擊次數： 7次產品定位日本Techvision推出的UVC-200/300系列，是專為半導體晶圓UV膠帶剝離工藝設計的桌面型UV-LED固化裝置。UVC-200對應8英寸晶圓，UVC-300對應12英寸晶圓，另提供全自動Cassette-to-Cassette機型（UVC-200A/300A）。2. 核心技術創新- 365nm單波長冷光源：采用水冷散熱高功率LED驅動，輸出250mW/cm2，消除傳統汞燈的紅外熱輻射，實現真正的常溫照射，保護熱敏晶圓
- 往復掃描曝光：光源橫向掃描+晶圓旋轉，確保全區域光照均勻，避免局部欠固化
- 低耗N?吹掃：內置自動氮氣置換，抑制氧氣阻聚，氣體消耗量比傳統系統降低30%
3. 關鍵參數指標 參數 光源波長 365nm 照射強度 250mW/cm2（距工件10mm） 支持晶圓 200mm/300mm 冷卻方式 水冷+風冷 光源壽命 >20,000小時 手動型尺寸 750×640×575mm 4. 應用價值針對晶圓減薄/切割后的UV膠帶光降解工藝，實現芯片無損拾取、無殘膠剝離。相比2kW高壓汞燈，LED方案啟動瞬間完成、能耗降低60%以上、無汞環保、光源冷態可維護，是半導體后道制程光固化的技術換代方案。
產品中心
Products
-
農用機械
-
質構儀
-
糖度計
-
測試儀
-
氣泵
-
成分分析儀
-
分析儀器
-
試驗機
-
檢查燈
-
研磨介質球
-
光學儀器
-
檢驗儀
-
鑒別儀
-
濃度計
-
涂布機
-
超聲波均質機
-
傳感器
-
壓力表
-
位儀計
-
露點儀
-
數字水平儀
-
水分計
-
溫度計
-
厚度計
-
光度計
-
焊接機
-
切割機
-
應力儀
-
水平儀
-
均質機
-
診斷儀
-
控制器
-
馬達
-
去除機
-
零件進料器
-
研磨計
-
真空計
-
球閥
-
點膠機
-
粘度計
-
過濾器
-
照度計
-
點焊機
-
混合機
-
伊原電子密度計
-
塑料粒子色選機
-
臭氧儀
-
質量計
-
錘磨機
-
密度計
-
張力計
-
監測儀
-
比色計
-
電導率儀
-
冷卻器
-
離子計
-
粉碎設備
-
耗材/配件
-
傳熱設備
-
測量/計量儀器
-
大米樣品保存箱
-
研究用小型色選機
-
光源
-
陶瓷材料
-
水質檢測設備
-
物性檢測設備
-
氣體檢測儀
-
茶葉生產線
-
日本進口
-
行業專用儀器
-
電氣設備
-
加熱裝置
-
水產設備
