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精準測控中低真空：日本特微 PGD 系列數字皮拉尼真空計技術分析

發布時間： 2026-04-01　　點擊次數： 8次

日本特微（TOMIX）PGD 系列數字皮拉尼真空計，是專為工業真空系統打造的高精度熱傳導式測量儀表，以恒溫式檢測原理、微電腦智能控制、寬量程自動切換為核心技術，實現 1×10?Pa~1×10?1Pa 中低真空范圍的穩定、快速測量。產品兼顧小型化、高可靠性與數字化接口，廣泛適配半導體、真空鍍膜、化工、科研實驗室等場景，成為真空過程質控的核心檢測設備。
一、核心測量原理與電路設計
PGD 系列基于皮拉尼熱傳導效應與恒溫閉環控制工作，核心物理機制遵循氣體熱導率與壓力的強相關性。真空規管內置 SUS 材質 15φ PG 傳感球，內部搭載鉑金絲加熱元件，通電后維持恒定溫度（約 100-150℃）。當真空度變化時，氣體分子密度改變，碰撞熱絲帶走的熱量隨之波動：真空度越高，分子越少，熱損失越小，維持恒溫所需電流越低；反之則電流升高。
系統采用惠斯通電橋 + 微處理器雙核心架構，通過閉環反饋電路精準調節熱絲電流，保持溫度恒定。同時內置溫度補償模塊，抵消環境溫度波動對測量的干擾，將熱絲電阻變化轉化為線性電信號，經 AD 采樣與算法處理后，直接輸出 Pa 單位真空值，從原理上規避傳統恒流模式的非線性誤差，測量精度與穩定性顯著提升。
二、關鍵技術參數與結構特性
PGD 系列主打 PGD-001 與 PGD-0024H 兩款型號，核心參數貼合工業現場需求，設計兼顧易用性與耐用性：
測量范圍：1×10?Pa~1×10?1Pa，內置 5 檔量程自動切換，無需人工干預，覆蓋中低真空全區間。
顯示與響應：7 段 LED 數字顯示（2 位尾數 + 1 位指數），讀數直觀；采樣速度 0.5 秒，實時追蹤真空動態變化。
規管與材質：標配 SUS15φ PG 球，抗腐蝕、抗污染，適配多種氣體環境；PGD-001 配 2m 測量線，PGD-0024H 延長至 15m，滿足遠距離安裝。
電氣與接口：電源 AC100V 50/60Hz，功耗 20W；支持 RS232C 通訊、模擬量輸出（10mV / 滿量程），PGD-0024H 搭載 4 點繼電器觸點輸出（DC30V/2A），可實現上下限報警與聯動控制。
物理規格：桌面 / 面板兩用型，尺寸 84 (W)×147 (H)×200 (D) mm，重量 1.7kg，結構緊湊，便于設備集成與現場部署。
三、核心技術優勢
寬量程高精度：突破傳統皮拉尼計量程窄、精度波動局限，5 檔自動切換覆蓋常用工業真空區間，測量誤差控制在 ±1% 以內，重復性優良，適配動態抽真空與穩態監測。
抗干擾長壽命：SUS 傳感球與鉑金絲設計，耐粉塵、耐輕微腐蝕，降低污染導致的精度衰減；恒溫控制減少熱絲氧化，規管壽命較常規產品提升 30% 以上。
數字化智能化：微電腦全程控制，支持單位直讀、自動校準、故障自檢；繼電器輸出與通訊接口兼容 FA 系統，可接入自動化產線，實現真空數據遠程監控與記錄。
易用性強：無需復雜預熱，開機即測；LED 顯示清晰，按鍵式參數設定，操作簡便；長距離測量線適配復雜設備布局，安裝靈活性高。
四、應用場景與價值總結
PGD 系列主要應用于半導體制造（CVD/PVD 設備）、真空干燥、真空熱處理、鍍膜設備、科研真空系統等領域，負責真空機組啟動、工藝過程、檢漏環節的真空度實時監測。其精準測量保障工藝穩定性，數字接口助力產線智能化升級，小型化設計降低集成成本，高可靠性減少維護頻次。
綜上，日本特微 PGD 系列數字皮拉尼真空計，以恒溫式核心技術、寬量程自適應、數字化全功能為核心競爭力，平衡精度、穩定性與實用性，解決中低真空測量的精度與適配性痛點。作為工業真空檢測的標準化選型，其為真空設備的安全運行、工藝優化提供可靠數據支撐，推動真空測控向精準化、智能化發展。

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精準測控中低真空：日本特微 PGD 系列數字皮拉尼真空計技術分析

一、核心測量原理與電路設計

二、關鍵技術參數與結構特性

三、核心技術優勢

四、應用場景與價值總結