日本ulvac熱陰極電離真空計 ST200-A/R/E

更新日期：2024-05-16

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廠商性質：經銷商

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簡要描述：

日本ulvac熱陰極電離真空計 ST200-A/R/E
這是一個新系列的換能器類型“G-TRAN 系列多離子規"，可以連接不同測量范圍的觸針。本產品為三極管電離真空計，不易失去靈敏度，即使在真空計的惡劣環境下也能進行更長時間、更準確的真空測量。

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產品介紹

日本ulvac熱陰極電離真空計 ST200-A/R/E

這是一個新系列的換能器類型“G-TRAN 系列多離子規"，可以連接不同測量范圍的觸針。本產品為三極管電離真空計，不易失去靈敏度，即使在真空計的惡劣環境下也能進行更長時間、更準確的真空測量。在繼承長壽命、低運行成本的理念的同時，我們進行了改進，使其更加人性化。

特征

提高可用性：PC/智能手機連接可實現設定點設置、狀態確認等。
燈絲壽命通知功能：燈絲功率監控可提前通知燈絲壽命
可連接不同量程的接點：采用多離子規，可根據應用選擇接點。
緊湊：比傳統產品小得多（控制器體積減少 56%），最小的級別
擴充產品陣容：除了模擬輸出規格（ST200-A）和串行通信規格（ST200-R）之外，還將增加EtherCAT規格（ST200-E）
世界三極管型金屬電離真空計：真空計即使在惡劣環境下也能實現長壽命
壓力測量范圍廣：可測量從大氣壓到高真空范圍（1×10 ⁺⁵至 1×10 ^-5 Pa）（連接選購件 SWU10-R 時）
精確的大氣壓測量：可以檢查腔室開口的大氣壓（連接可選單元 SAU 時）

用途

用于有機EL、觸控面板等制造設備的極限壓力確認和過程控制
用于檢查真空爐等各種工業真空設備的極限壓力
用于在含有許多碳氫化合物（油基）的大氣中進行測量
用于在真空部件加工過程中殘留切削油或清潔液的環境中進行測量
用于希望減少更換真空計測針頻率的真空設備

日本ulvac熱陰極電離真空計 ST200-A/R/E

規格

模型		ST200-A	ST200-R	ST200-E（即將發布）
規格		標準規格	串行通信規范	EtherCAT 規格
自適應多離子規傳感器		SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)
可連接傳感器		多離子規傳感器：1 個皮拉尼規 SWU10-R：1 個（選項）大氣壓傳感器 SAU：1 個（選項）
重復性 (N ₂ )		ST200 獨立模式：±2%
采樣時間		60ms 5次移動平均處理
測量值輸出		輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位壓力轉換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新時間		60毫秒
控制輸入信號		使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負邏輯運行	-	-
控制輸出信號		傳感器錯誤，設定點 1/2/3，發射有效，燈絲功率監控額定值：24V _MAX，50mA _MAX，飽和電壓 1V	-	-
串行通信規范		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED顯示屏		POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態根據每種模式而變化）
發射電流		2mA（1×10 ^-2 Pa以下）、10μA（1×10 ^-2 Pa以上）
脫氣		電子轟擊法，發射電流2mA，柵極電壓約330V
傳感器耐壓		2×10 ⁺⁵ Pa（壓力） *法蘭和卡箍的承受壓力必須單獨考慮。
傳感器內部容積		17cm3 ^（ SWT-16）、19cm3 ^（ SWT-25）
工作溫度限制		10 至 50°C
工作濕度范圍		15 至 80%（無冷凝）
貯存溫度		-20 至 65°C（未通電時無冷凝）
知識產權保護等級		IP30
電源電壓		20 至 28 VDC（紋波、噪聲 1% 或更低） 8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub 15針（M2.6螺絲）
大量的		控制器：約 280g 觸控筆（SWT-16、SWT-25）：80g
尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm（控制器部分）
符合標準		行政長官
選項	多離子計傳感器	SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質：燈絲：Ir/Y ₂ O ₃涂層其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐/鎳鍍層
	皮拉尼規	SWU10-R *也兼容傳統 SPU
	皮拉尼壓力傳感器	SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質: 燈絲 - Pt, 其他 - BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊料
	大氣壓傳感器	SAU(NW16) 材質：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
	顯示單元	1CH：ISG1（使用DC24V供電）
	顯示單元電纜	SH200 和顯示單元之間的電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺絲））
	其他	檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書