一、產品定位與核心價值
Impedans 朗繆爾探測器是面向等離子體工藝領域的高精度診斷設備,聚焦于等離子體參數實時測量與工藝優化的需求,解決了傳統等離子體測量設備精度不足、數據滯后、操作復雜的痛點,為半導體制造、薄膜沉積、表面處理等行業提供高效的工藝監控與研發工具。
二、核心性能與設計優勢
- 精準等離子體參數測量基于朗繆爾探針(Langmuir Probe)技術,可實時測量等離子體電子溫度、電子密度、等離子體電位、離子能量分布等關鍵參數,測量精度高、響應速度快,能夠捕捉工藝過程中的微小變化,為工藝優化提供精準數據。
- 工業級穩定設計采用機架式結構,適配工業現場與實驗室環境,具備良好的抗干擾與防塵性能;探針組件采用耐高溫、耐腐蝕材料,可在嚴苛的等離子體環境中長期穩定工作,保障測量數據的一致性與可靠性。
- 便捷操作與數據管理配備直觀的操作軟件,支持實時數據可視化、曲線分析與數據導出,可自定義測量參數與采樣頻率;支持遠程監控與數據追溯,符合工業 4.0 的數字化管理需求,便于工藝人員快速分析與優化工藝。
- 多場景適配能力支持不同類型等離子體工藝(如 ICP、CCP、PECVD、濺射等),可適配真空腔體、大氣常壓等多種環境,廣泛覆蓋半導體、顯示、光伏、材料研發等領域的應用需求。
三、Impedans 朗繆爾探測器 適用場景與行業價值
該設備廣泛應用于:
半導體制造:蝕刻、沉積、清洗等工藝的等離子體狀態監控與工藝優化;
薄膜行業:PVD/CVD 薄膜沉積過程的等離子體參數診斷,提升薄膜均勻性與品質;
科研機構:等離子體物理、材料科學等領域的基礎研究與工藝開發;
表面處理:等離子體清洗、活化、刻蝕等工藝的質量控制與效率提升。
通過精準的等離子體診斷,幫助企業減少工藝波動、提升產品良率、縮短研發周期,是等離子體相關行業的核心檢測設備。
四、包裝與售后服務
包裝:定制木箱 + 緩沖材料包裝,隨附探針組件、操作軟件、數據線與校準證書;
售后:提供 1 年原廠保修服務,支持安裝調試、操作培訓與技術咨詢,核心部件可長期供應。






