產品概述
日本 EKUSA 半導體用超純水在線加熱器 EHS 型是專為半導體、電子等制造業研發的高純度流體加熱設備。產品以全 PFA 接液結構為核心，杜絕雜質溶出，搭配 PID 精準控溫與長壽命低溫加熱設計，為半導體濕法工藝、超純水系統提供穩定、高純度的加熱解決方案，是 12 英寸晶圓制造等工藝的核心配套設備。
核心性能與設計亮點
- 全 PFA 接液，高純度保障所有與流體接觸的部件均采用 PFA 氟樹脂材質，無任何金屬部件接觸流體，避免金屬離子、雜質溶出，滿足半導體行業對超純水、化學品的純度要求，可安全用于強腐蝕性化學品的加熱，適配各類嚴苛工藝場景。
- 低溫長壽命設計，降低運維成本采用低功率密度、低溫型加熱結構，大幅降低加熱器老化、損壞風險，實現超長使用壽命，無需頻繁更換加熱器，減少設備維護成本與工廠停機時間，適配半導體工廠 24 小時連續運行需求。
- PID 精準控溫，工藝穩定性強搭載 PID 智能溫控系統，在流量穩定條件下控溫精度可達 ±1℃，確保超純水、化學品溫度恒定，精準匹配半導體濕法清洗、蝕刻等工藝對溫度的嚴苛要求，有效提升工藝良率與產品一致性。
- 緊湊結構，安裝靈活便捷設備整體設計緊湊，占用空間小，可直接集成到半導體超純水管道系統中，安裝靈活，適配各類工廠布局，無需大規模改造管路，降低現場施工成本。
- 多重安全防護，遠程可控配備超溫、過流、漏電等多重安全保護機制，異常工況自動停機，保障設備與工藝安全；同時支持外部信號遠程控制，可直接接入工廠自動化系統，實現集中管控，適配智能工廠需求。
- 寬適用性，多場景兼容不僅可加熱超純水，還可適配半導體常用腐蝕性化學品，一臺設備覆蓋多類工藝流體加熱需求，降低采購成本，提升設備利用率。
日本 EKUSA 半導體用超純水在線加熱器 EHS 型 技術參數與配置
設備額定功率覆蓋 25kW~150kW，加熱溫度 90℃，PID 控溫精度 ±1℃，工作壓力 0.4MPa；標配主機、溫控系統、PFA 加熱管路、SUS304 機架、操作面板等，開箱即可接入管道系統使用；支持定制不同功率、接口規格、控溫方案，滿足客戶個性化需求。
售后服務
產品提供原廠技術支持，可協助客戶完成安裝調試、工藝適配、使用培訓；提供設備維修、配件更換、定期校準等全生命周期服務，保障設備長期穩定運行。
