日本sanyu electron桌面涂布機SC-701HMCⅡ
特征
支持W（鎢）/Ni（鎳）/Cr（鉻）/Ti（鈦）等成膜的DC濺射設備
使用磁控管陰極
內置微機，高精度控制成膜過程
操作方式為全自動/手動2種模式
標配自動快門機構
應用/結果示例
W/Ni/Cr/Ti等的成膜
燃料電池基礎實驗
日本sanyu electron桌面涂布機SC-701HMCⅡ
基本規格
| 陰極 | φ2寸磁控陰極 |
| 快門機制 | 自動/手動操作 |
| 氣體引入機制 | 針閥（自動/手動控制） |
| 真空泵 | 直聯回轉泵：100l/min（帶自動漏氣） |
| 腔室尺寸 | 內徑φ160mm x D160mm（SUS制） |
| 樣品交換方式 | 前門開閉式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 機身： 360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm |
| 重量 | 身體：20kg RP：23kg |
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